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        传感器的制作技术

            传感器技术的发展依赖于传感器制作技术的发展.随着传感器不断向半导体化、集成化、小型化和智能化方向发展,传感器制作技术主要是微系统技术(或称为微机械加工技术)。微系统技术不但指组成微系统的部件是用微机械加工制成的,而且这些部件组合成系统也是采用微机械加工技术。它是集微机械、微电子、微光学和数据处理软件等为一体的一门综合技术。微系统技术包括组成板统的各个部件及子系统的加工工艺和将它们集成到一起形成完整系统的加工工艺
            1.部件及子系统主要涉及的技术
           1)半导体工艺:
           2)硅微机械加工技术
           3)集成光学技术:
           4)厚膜一薄膜技术
           5)毫微技术
           6)刻蚀技术:
           7) X射线深层光刻电铸成型耳IGA)技术:
           8)激光加工技术
            2.系统的集成包括系统的底盘、组装和连线、主要涉及的技术
           1)硅技术、厚膜薄膜技术、微机械加工技术和激光加工技术等
           2)键合主要有芯片黏接、共熔键合、焊接、玻璃封接、静电封接等技术:
           3)接线主要有压焊、倒装式焊接、TAB〔带自动焊接)等技术
            当传感器用石英、陶瓷、高分子聚合物和金属材料为基底时,还要用到超精密机械加工

        速度传感器 张力传感器t7U广州南创电子科技有限公司


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